新能源缺少芯片光刻的前后道的配套的工艺平台和检测设备

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激光直写光刻设备是集成电路制造领域的核心工艺及设备。激光直写光刻是利用空间光调制器二维图形扫描技术，实现集成电路图形的光学影像转移，实现集成电路图形的刻写。该设备主要攻克的技术攻关课题包括 精密光学照明及成像技术、图形发生器及高速数据传输技术、高功率高稳定性激光器研制、高精密定位技术、高速高精度对位技术、高精度实时对焦技术、高精密微环境控制技术等。

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