新能源缺少芯片光刻的前后道的配套的工艺平台和检测设备
分享到:
我感兴趣

合肥某某微电子装备有限公司
2018-09-12 14:59
关键词:芯片光刻设备
客户类型: 其它
解决期限:未确认
最佳预算:未确定
预算上限:未确定
附件:
需求详情:
激光直写光刻设备是集成电路制造领域的核心工艺及设备。激光直写光刻是利用空间光调制器二维图形扫描技术,实现集成电路图形的光学影像转移,实现集成电路图形的刻写。该设备主要攻克的技术攻关课题包括 精密光学照明及成像技术、图形发生器及高速数据传输技术、高功率高稳定性激光器研制、高精密定位技术、高速高精度对位技术、高精度实时对焦技术、高精密微环境控制技术等。
技术指标:
尚未填写
不感兴趣的技术:
尚未填写
处理进度:
  • 提交需求
  • 需求确认
  • 需求签约
  • 需求服务
  • 需求关闭