目前技术所处阶段:
小试
2016-12-15 15:46
技术关键词:冷阴极X光源 无损检测 微焦点
融资金额:未确定
融资占比:未确定
项目简介:
随着微电子、精密仪器、光伏能源等领域的飞速发展,针对半导体芯片、精密零部件、太阳能电池、锂电池等器件中涉及微小缺陷(<100μm)无损检测的需求日益增长。基于微焦点X射线的无损检测成像,因为波长短、穿透力强、准直度高等特点,被认为是解决上述问题的重要技术路线。现有微焦点X射线成像技术存在检测速度慢等缺点,且主要被国外企业垄断。通过设计加工新型基于碳纳米材料冷阴极的X射线源并整合脉冲探测成像系统,我们研制出一套具有自主知识产权的基于冷阴极 X光源的微焦点实时无损检测系统。
技术信息:
X射线能量:80keV,工作电流:200μA,成像分辨率:<100μm。
市场应用:
.高端检测机每台在30万-50万元,国内需求量在5000台以上(15亿以上);标准检测机每台在10万元左右,国内需求量在10000台以上(10 亿以上)。
技术优势:
基于微焦点X射线的无损检测成像,波长短、穿透力强、准直度高等特点